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普通掃描電鏡(SEM)是一種能夠觀察物質成分的高性能顯微鏡

更新時間:2023-05-05      點擊次數(shù):761
  普通掃描電鏡(SEM)是一種能夠觀察物質表面形貌、結構和成分的高性能顯微鏡。它采用高能電子束與樣品表面相互作用,通過探針控制和信號放大器對來自樣品不同區(qū)域的電子反射、散射、輻射等信號進行分析處理,從而獲得高分辨率的圖像。其原理主要包括兩個方面:高能電子束和信號檢測系統(tǒng)。
 
  高能電子束是SEM的核心部件,它由電子槍、聚焦系統(tǒng)、透鏡和樣品臺組成。電子束從電子槍發(fā)射出,經(jīng)過聚焦系統(tǒng)和透鏡聚焦成小的電子束照射到樣品表面上。由于電子束能量很高,當它與樣品表面相互作用時,可產生多種電子信號,如初級電子、次級電子、后向散射電子和X射線等。此外,電子束的能量還可引發(fā)樣品內部電子躍遷和原子核激發(fā),從而發(fā)射出特定的X射線光譜。通過調節(jié)電子束能量、聚焦和透鏡位置等參數(shù),可以調整SEM的工作狀態(tài),獲得不同的信號反饋。
 
  信號檢測系統(tǒng)則是SEM獲取圖像的關鍵。它主要由電子探測器、信號放大器和數(shù)字轉換器組成。電子探測器是信號檢測系統(tǒng)中基本的部分,它可以收集不同區(qū)域的電子信號,并將這些信號轉化為電流信號。信號放大器負責放大電子信號,使其能夠被數(shù)字轉換器識別和處理。數(shù)字轉換器將電信號轉化為數(shù)字信號,進行處理和重建,生成高清晰度的圖像。
 
  普通掃描電鏡的使用步驟:
 
  1.打開設備,預熱電鏡,確保其處于正常工作狀態(tài);
 
  2.調整樣品,粘貼到樣品支架上或使用夾子綁定;
 
  3.調整樣品支架角度,使其面對電鏡主軸;
 
  4.安裝/調整樣品支架高度以獲得合適的視野;
 
  5.調整電子微控器和顯微鏡鏡頭以獲得對焦和對比;
 
  6.調整電子束照射條件,包括電子束能量和開啟增強模式等;
 
  7.開始掃描并獲取圖像,檢查圖像質量是否滿足需求;
 
  8.保存圖像或使用圖像處理軟件進行后續(xù)分析。
 

普通掃描電鏡

 

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